中古 OAI 2000SM #9256685 を販売中

OAI 2000SMは、OAI株式会社が提供する高精度のコンピュータ制御マスクアライナーです。この装置は、半導体デバイス製造用に特別に設計されており、光学的な書き込み、エッチング、最小の機能サイズのデバイスの開発など、パターニングプロセスに最適1µm。2000SMは、X軸とY軸で最大±1µmの精度を高めた高解像度2軸サーボモーターベースのシステムです。また、わずか1。7msのサイクルタイムで高いスループットを提供します。ユニットは、最高の5µmアライメント精度で、優れたオーバーレイ精度を保証します。厚さ280mmまでの厚い基板にも対応可能です。OAI 2000SMには柔軟性の高い機械アーキテクチャがあり、お客様の特定の要件に合わせてさまざまな周辺部品を統合できます。このツールは、光学ステッパー、スパッタリングシステム、バッチスピナー、エッチングシステム、イオンインプランター、拡散炉など、さまざまな機器と統合できます。この資産は、卓越した平坦性と精度を可能にする硬質アルミニウムベースプラテンで構築されています。また、フラットプレートスキャン機能を備えており、パターンをスキャンして工具を素早くセットアップして再作成することができます。これにより、マスクと基板の整列に要する時間が短縮され、応答時間が短縮されます。2000SMは、半導体製造のために設定された厳しい安全性と再現性の基準を満たしている信頼性の高いアライナーです。すべてのドアおよび部品に安全インターロックを装備しており、ESD（静電気放電）規格に準拠しています。また、緊急時にオペレータに警告するように設定できるアラームモデルを備えており、信頼性の高い操作を保証します。OAI 2000SMマスクアライナーは、半導体デバイスの高精度パターニングに最適なソリューションです。精密なアライメント精度、高度な機器アーキテクチャ、堅牢な安全性と性能基準により、このシステムは半導体業界の厳しい要件に適合しています。