中古 OAI 200 #9008675 を販売中

OAI 200は、Orion Aligner Maskとも呼ばれ、半導体製造プロセスで使用される高解像度の画像アライメント装置です。このシステムは、半導体ウェーハ上のマークの測定と整列に使用されます。200は、オーバーレイ、非接触光学イメージングユニットで構成されています。このマシンは、レーザーダイオードまたはレーザービームによって作成されたオーバーレイグリッドからのマークの正確なピクセルレベルの位置を測定します。OAI 200は、高解像度レンズと多軸ステージを使用して、画像の向きと登録を正確に制御します。工具はステージコントロールユニットと検出コントロールユニットで構成されています。ステージコントロールユニットは、イメージをキャプチャするための目的の向きと位置にステージの回転と傾きを正確に制御します。検出制御アセットは、画像を検出するために電気光学デバイスを使用します。エッジ検出または光検出の中心を使用して、画像をキャプチャして整列させます。200モデルは、200nmから800nmのサイズの画像をオーバーレイし、1xと4xの両方の速度で動作します。ワンショットでウェーハの全領域を測定することができます。この装置は、画像全体のマークを測定することができ、過電流を最小限に抑えるのに役立ちます。これにより、製品の収量が増加します。システムで使用される画像解析ソフトウェアは、ユーザーがエッジ検出、円検出、質量検出の中心のために独自の応答機能をカスタマイズすることができます。さらに、OAI 200にはリアルタイムの画像キャプチャユニットがあり、複数の画像を同時にキャプチャして整列させることができます。このマシンは、1つの反復でウェーハの複数の領域を測定および整列できます。このツールには、マルチダイスタックやマルチベイ多層基板の自動アライメントなど、いくつかの高度な機能があります。200はまた、高精度なアライメント機能と正確なアライメント結果を提供します。OAI 200は、微小光源のサイズを測定し、小型の小型ピクセルを素早く測定し、0。18ミクロンのチップを優れた歩留まりで製造するのに理想的です。この資産は、航空宇宙、自動車、医療、半導体などのさまざまな産業で使用されています。