中古 NIKON Projection Aligner #200355 を販売中

NIKON Projection Alignerは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造、フォトマスク製造、ハイブリッド回路用ファインラインなどの高度なリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナーです。高精度、信頼性の高いアライメント、効率的な操作が特徴です。高度な光学技術を活用し、広い視野で正確なアライメントを提供し、より高い歩留まりと製品品質の向上を可能にします。プロジェクションアライナーは、プロジェクションレンズと望遠鏡で構成された2レンズの光学システムを備えています。このユニットの高度なアライメントアルゴリズムは、投影された画像のコントラストとコントラスト比を使用して、一般的に手動アライメントには小さすぎるデバイスウェーハの領域を正確にアライメントします。マスクの2軸同時移動（X-Y）によるテレセントリック光学を活用することで、マニュアルアライメントよりも大幅に短い時間枠で≤ 200umパターンの正確で信頼性の高いアライメントを可能にします。NIKON Projection Alignerは、高速スキャンステージを備えた3軸ツールで、フォトマスクを投影方向に素早く正確に配置できます。ファストスキャンステージにより、基板の複数箇所での自動アライメントや露出も可能になり、量産が可能です。レンズ望遠鏡アセットは、Z軸に沿って登録するための同期制御と自由な投影イメージングを確保するためのオートフォーカスモデルを備えています。さらに、LED光源を備えた外部カメラと、マスクパターンや基板パターンを見るための高解像度ディスプレイを備えています。この機能により、手動アライメントが必要な場合に手動で調整できます。プロジェクションアライナーは、高感度の調整ジョイスティックと直感的なユーザーインターフェイスを備えており、トレーニング要件を最小限に抑えて迅速かつ簡単に操作できます。要するに、NIKON Projection Alignerは高精度、信頼性の高いアライメント、および効率的な操作を提供し、ハイテクなリソグラフィ用途に最適です。Z軸に沿った高速スキャンステージ、直感的なユーザーインターフェイス、同期制御により、タイムフレームの短縮と生産歩留まりの向上を実現します。さらに、外部カメラとLED光源により、基板とマスクパターンの手動アライメントと表示が可能になり、フォトマスクの正確な登録が保証されます。