中古 NANO SYSTEM DL-100 #9208181 を販売中

NANO Equipment DL-100は、ナノスケールパターニングプロセス用の精密マスクアライメント用に設計されたマスクアライナーです。直径4インチまでのウェーハ加工が可能で、幅広い用途でご使用いただけます。このユニットは、アライナーユニット、オプティカルステージ、ウェーハステージの3つの主要コンポーネントで構成されています。アライナーユニットは、レンズアレイとリアルタイム測定とユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えたコントロールマシンで構成されています。工具の心臓部である光学ステージは、精密光学顕微鏡と高解像度カメラで構成されています。ウェーハステージは、アライメントプロセス中に正確な位置決めとウェーハの安全なホールドを提供するように設計されています。最大400xの倍率を持つ光学顕微鏡を使用して、画像を拡大し、パターンをウェーハに正確に配置します。このカメラは、パターン化されたウェーハのその場での露出を提供し、アライメント結果をキャプチャします。このソフトウェアは、パターン認識や自動センタリングなど、幅広いアライメント機能をユーザーに提供し、アライメント時間を大幅に短縮し、生産性を最大化します。制御アセットはまた、プロセスを自動化し、パターンのレイアウトを1行のコードに合理化するための幅広いG-Codeシーケンスとマクロプログラミングを可能にします。DL-100により、パターンのアライメント精度が高く、最小限の廃材で正確にデザインを提示することができます。複雑で複雑なパターンを高速で生成することができ、高度な制御モデルによりリアルタイムで調整することができます。これは、高いスループット能力により、半導体産業にとって有益です。NANO装置DL-100は、高精度なパターンとプロセスを実現するための理想的なシステムです。強力な光学系、高度なソフトウェア、多軸制御、および精密なアライメントの組み合わせにより、ウェーハプロセスの最高レベルの精度と速度を容易に達成できます。3Dパターニング、ディープエッチング、薄膜成膜など、多彩な用途DL-100対応します。