中古 MIKASA ML-1 #293655508 を販売中

MIKASA ML-1 Mask Alignerは、集積回路（IC）の製造においてフォトリソグラフィープロセスで使用される、自動化された高精度の機械です。フォトマスクやフォトマスクからなるパターン化されたマスクを正確に配置し、シリコンウェーハ表面にエッチングするためのデザインレイアウトに整列させることができます。マスクアライナーML-1、 4つのリニアモーションステージ、2つのロータリーステージ、複数のプレアラインとプレピックステーションを統合したウェハステージを備えたマスクステージを備えています。広いカバー面積と1。0 μ m未満の優れたアライメント精度を備えた大容量IC製造用に特別に設計されています。紫外線（UV）光源、ウェーハ加熱システム、高度なマスクオーバーレイ測定ツールを使用して、正確な過層登録と最大オーバーレイ精度を実現しています。MIKASA ML-1 Mask Alignerは、高度な光学システムと各ハーフトーンの自動ゲインとオフセット制御により、深いUVハーフトーンの処理能力をさらに強化しています。このシステムには、2軸マテリアルカッター、6軸アーム、および自動スクラバーが装備されており、自動マスクアライメントプロセスを最大限に制御するオプションが追加されています。ML-1 Mask Alignerは使いやすいユーザーインターフェイスで設計されており、高度なパターニングパラメータを簡単に開発、操作、保存できます。インタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、生産に必要なウェハマップの設計、編集、作成が迅速かつ簡単に行えます。さらに、ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、ユーザーのためのデータ管理とインストール手順を簡素化します。MIKASA ML-1 Mask Alignerは、さまざまな生産ニーズに対応するための自動アライメントプロセスや、サイクルタイムの短縮やプロセス制御機能の強化などのハイエンド機能など、複数のユーザー設定も提供しています。また、AccuRitter （AR） Feature Trackプログラムを提供し、深いUVハーフトーンのリソグラフィープロセスに最適な座標とパスを自動的に取得します。すべての機能と機能を備えたML-1 Mask Alignerは、IC製造用の高度で信頼性の高い自動マスクアライナーです。最高歩留まりで高品質なIC生産を目指して、あらゆる集積回路製造メーカーに欠かせない機械です。