中古 MIKASA MA-20 #9394173 を販売中

MIKASA MA-20 Mask Alignerは、フォトマスクやレチクルやウェーハを整列させるために設計された高精度で信頼性の高いマスクアライナーです。このアライナーは、平面サーフェスと3Dサーフェスの両方にレチクルの正確なアライメントを提供し、最大2 μ mの解像度でシリコンウェーハ上にパターンを作成するために使用できます。半導体製造など、正確なレチクル配置を必要とする高精度アプリケーションに特に適しています。アライナーMA-20真空チャックとXY軸ステージを備えており、精密で再現性のあるアライメントを可能にします。アライメント装置は、特許取得済みのレーザー反射角度測定（LRAM）技術に基づいており、さまざまな角度のレーザー源を使用してレチクルと基板の相対位置を測定します。このアライナーには、ターゲット信号を検出して正確に識別するエッジ検出システムも組み込まれており、露出時間を短縮し、優れた精度を確保します。MIKASA MA-20の260nm UV露出ユニットは、極めて高い精度と再現性を備えた小型のフィーチャーサイズを実現します。高出力ハロゲンランプ、UVフィルター、精密露光制御用シャッターマシンを搭載しています。このアライナーはまた、正確な温度制御と拡張レチクル寿命の制御環境を提供する3次元加熱インキュベーターを備えています。さらに、MA-20はWebベースのプロセス監視および制御ツールと統合されており、生産時間とレチクル寿命を容易に監視できます。また、メンテナンスとレポートのログを提供しながら、ユーザーはリモートでマシンパラメータを調整することができます。MIKASA MA-20は、長年にわたり信頼性と費用対効果の高い運用を目指して設計されており、優れた画像登録とアライメント精度で使いやすく効率的なマスクアライナーをユーザーに提供しています。シリコンウェーハ、ガラス、セラミックなど、さまざまな基板にパターンを転送するために使用できます。精度、再現性、汎用性を兼ね備えたMA-20 Mask Alignerは、高度な半導体製造プロセスに最適なソリューションです。