中古 MIKASA MA-20 #9279286 を販売中

MIKASA MA-20マスクアライナーは、半導体基板の表面に薄膜層を配置するためのリソグラフィー工具です。MA-20は、高精度で非接触の位置決め装置であり、サブミクロン精度が可能で、高度なリソグラフィ用途に最適です。MIKASA MA-20はフォトリソグラフィーシステムで、マスクテーブルと多目的ステージを利用してウェーハ表面に希望のパターンを生成します。ステージ上の真空チャックは、ウェーハ表面の処理を容易にします。MASKテーブルは、卓上とカメラで構成されており、カメラの視野と照明器具によって投影された画像への参照を提供します。MASKのデザインは、標準的なマスクからカスタムメイドのパターンまで、アプリケーションの要件に応じて選択でき、画像の精度は検出器の自動校正によって維持されます。MA-20には、露光プロセスに必要な照明を得るために、マルチビーム、高速スキャナ、照明器も備えています。スキャナは最大2000mm/sの速度で移動でき、さまざまなアプリケーションに必要な精度を提供します。照明器は、1から100μW/cm2までの可変強度範囲を持ち、設計されたマスクに対応するパターンを送信します。MIKASA MA-20は、高精度で非接触のアライメントを可能にする、リソグラフィープロセスを強化するいくつかの機能を提供します。これらには、極低温（LT）レーザー、PCB最適化されたモーターアライメントユニット、および自動アライメント機能が含まれます。さらに、MA-20には顕微鏡、レンズ内蔵シリーズ、液晶ディスプレイを内蔵した統合イメージングマシンがあります。これにより、フォトアライニングの前後にサンプルを正確に検査することができます。統合されたレートコントローラは、制御フィードバックツールを介して正確なアライメントを保証します。要約すると、MIKASA MA-20は、半導体基板に正確な薄膜層を生成するために設計された高度なリソグラフィーツールです。マルチビームスキャナ、高速スキャナ、照明器、LTレーザー、PCB最適化されたモーターアライメント、オートアライメント機能など、最適化されたアライメントのためのさまざまな機能を提供します。MA-20には、統合されたイメージングモデル、および正確なアライメントを確保するためのレートコントローラも含まれています。