中古 MIKASA M-2L #9296315 を販売中
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MIKASA M-2Lは、電子回路の製造に使用される高精度のマスクアライナーです。プリントされたマスクパターンを通してアライメントされたフォトレジストフィルムを選択的に照射することで、基板上に精密な電気部品パターンをエッチングします。このマスクアライナーは、基本的な線形回路の製造から高度なディスプレイデバイス用の超微細ラインパターンまで、用途に適しています。M-2L機器の中心には、精密で高解像度の光学系があります。4.8µmのスループット(6 ×テレセントリシティ)、2.6µmの効果的な分解能(100%コヒーレンス)、および0.5µmの位置決め精度により、光学系はさまざまなサイズと形状のパターンを優れた精度と再現性で製造できることを保証します。さらに、レイヤー登録を0.25µm内に整列させ、1ショットで0.4µmのライン/スペースパターンのピッチを生成することができます。MIKASAのM-2Lシステムは高度な性能のために最適化されています。Pulse Driven Equalization (PDE)機能により、光源の出力強度を正確に監視し、露光パラメータの安定性と再現性を提供します。また、グランドプレーンデザインは機械振動を最小限に抑え、優れたオーバーレイ登録性能に貢献します。M-2Lは、使いやすさとスペースの効率的な使用のために設計されています。このツールは3sq m未満のスペースを占め、その条件とステータスを明確にオンラインで監視します。また、消費電力は低く(110VAC 6kW)、エネルギー効率を損なうことなく高精度を要求するアプリケーションに最適です。MIKASA M-2Lマスクアライナーは、高精度フォトリソグラフィを高効率なパッケージで提供します。優れたアライメント解像度、強力な光学系、独自のPDE機能により、比類のない再現性と精度を備えた幅広い電子回路を製造できます。
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