中古 MIDAS MDA-60FA #9404360 を販売中

MIDAS MDA-60FAは、MIDASが開発したマルチビームレーザーマスクアライナーです。フォトマスクおよび基板の正確な位置決め、アライメント、および迅速な操作を提供することにより、半導体チップおよびマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用されます。MDA-60FAは18インチのフルサークル、6軸コンピュータ制御のモーションコントロールを備えています。複数のスキャン周波数、レーザーパワー、解像度を備えており、精度アライメントに合わせて調整できます。MIDAS MDA-60FAは、MCATリニア同期とXY粗動を内蔵した高精度デュアルステージ軸モジュールを採用しています。X-Y-Zステージの位置決め精度は+/-1。0ミクロン、再現精度は0。3ミクロン、1mm/s速度は0。02 μ m/s加速です。MDA-60FAは、855x855x1400mmのフットプリントと155kgの重量で、コンパクトです。MIDAS MDA-60FAのレーザー光源はパルス幅が20〜100ms、パルスあたりのエネルギーが最大175mJのパルス185nmレーザーです。1µmの最小実装再現性、0.25µmの最小ビーム整列誤差、焦点深度は2〜5µmです。レーザーの点サイズは0。2 μ mの最低の正確さの5-100 μ mから調節可能です。MDA-60FAには、迅速なアライメント設定時間で再現可能なアライメントを可能にするソフトウェア機能が豊富に用意されています。そのソフトウェアは、多数のリソグラフィ形式をサポートし、自動アライメントと歪み補正を提供し、より高い精度のアライメントのための拡張チェッカーボード校正をサポートします。統合されたMCATレーザー同期機能は、レーザーソースと画像処理を連続的に整列させることにより、超高精度の高速アライメントを保証します。全体として、MIDAS MDA-60FAは半導体およびMEMSアプリケーションの精密アライメントにおいて業界をリードしています。高度なモーションコントロール、デュアルステージモジュール、レーザーソース、包括的なソフトウェア機能を組み合わせることで、超精密なアライメントと費用対効果の高い操作に最適なパフォーマンスを提供します。