中古 MIDAS MDA-60FA #9302606 を販売中

MIDAS MDA-60FAは、高精度フォトリソグラフィープロセス用に設計された高度なマスクアライナーです。この装置は、精度と費用対効果を考慮して設計されており、研究および生産アプリケーションに最適なソリューションです。MDA-60FAは直径60cm×奥行き60cmの光学ステージを備えており、現在最大級のものとなっています。高精度の加熱チャックにより、最高レベルのアライメントが保証され、基板間の優れた接触を提供し、高精度で高解像度のフォトリソグラフィを可能にします。最大露光面積は80×90cm、光源は15cm （6インチ）、最大ウェーハサイズは11インチです。このユニットは、正確な露出を容易にするさまざまな機能を備えています。セミオート、オート、マニュアルプロセスなど、さまざまな露出モードを提供しています。また、厚い/薄いガラス加工機能を備えており、1つの露出から次へのスムーズな遷移を可能にします。さらに、アライメントステーションを機械に統合し、露出前の基板の高精度アライメントを提供します。MIDAS MDA-60FAは、プロセス監視および制御のためのデータ収集システムと統合することができ、視覚および計測のためのさまざまなオプションを提供します。また、さまざまなプロセス制御ソフトウェアパッケージの信頼性の高いプラットフォームを提供します。このツールは、すべてのコンポーネントに簡単にアクセスできるモジュラーアセンブリ設計で、究極のメンテナンスを容易にするように設計されています。また、安定性と精度を確保するためにアクティブな水冷資産を備えており、緊急停止コマンドなどのその他の安全機能は、不要な放射線被ばくなどの潜在的な危険からオペレータを保護するのに役立ちます。MDA-60FAマスクアライナーは、高精度の結果と費用対効果の両方を提供するアライナーが少ないため、多くの研究および生産フォトリソグラフィ作業にとって貴重なツールであることを証明する可能性があります。より大きな露出領域と完璧なアライメント制御のために、MIDAS MDA-60FAは理想的な選択肢です。