中古 MIDAS MDA-400M #293666284 を販売中

製造業者
MIDAS
モデル
MDA-400M
ID: 293666284
ヴィンテージ: 2011
Mask aligner Spin process controller Substrate size: 2" and 4" Exposure optics: I, G, H-line UV Light source: 350 Watt Intensity controllable power supply Alignment: Top and back side alignment Top alignment stage: X, Y: ± 5mm and Z: 5mm Theta: ± 4° IR Lamp X-axis moving range: 2" 45~125 mm/ 6" X 55~129 mm Exposure time: 0~999 sec, min, hour Beam: Size: 4"x4" Power: ≥20 MW/cm² Beam uniformity: ≤ ± 3% Exposure mode: Soft and hard Vacuum and proximity contact Utilities requirement: Nitrogen: 0.4 MPA OFA: 0.6 MPA Vacuum: -600mm Hg No exhaust Lamp: Radiant intensity: 4,700 MW/SR Average luminance: 53,000 cd/cm² Base temperature: 230° C Radiant power: 50 W Power: 5.15 A, 350 W, 68 V 2011 vintage.
MIDAS MDA-400Mは、表面上の特定のパターンのリソグラフィと露出のプロセスを可能にする効率的でユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。このツールは、あらゆる種類の電子製品を作成するための半導体製造に使用されます。MIDAS MDA 400 Mは、高エネルギーのフォトレジストと光パターニングの両方を利用して、写真生成デバイスであるレチクルからパターンを開発中のデバイスに素早く正確に転送します。このツールは、さまざまな基板サイズと厚さで使用することができ、また、最高レベルの精度と再現性を維持するのに役立つ露光ソリューションの範囲をサポートしています。MDA-400Mにはユニークな4マスキング装置があり、より大きなリソグラフィ作業を処理できます。このツールには4つのマスクローディングチャンバーが装備されており、それぞれが一度に最大5つのウェーハを保持できます。これにより、ウェーハをずれたシーケンスにロードすることができ、パターンを基板に転送する時間が短縮されます。このマスクアライナーは、CCDビジョンアライメントシステムを備えています。これは、パターンの露出精度を保証するカメラユニットであり、画像を正確かつ迅速に焦点を合わせることができる顕微鏡とレーザー光源の選択肢です。レーザー光源には、基板表面の変化に合わせてフォーカスレベルを調整する3次元オートフォーカスフィーチャーもあります。これは、正確な露出と再現性を維持するのに役立ちます。MDA 400 Mには高度なレシピ管理マシンがあり、製造プロセスを合理化し、一貫したパターン作成と再現が可能です。直感的なタッチスクリーングラフィックスとユーザーフレンドリーな操作により、このマシンは異なるマスクアライナー間でレシピを交換できます。MIDAS MDA-400Mは、半導体製造やその他の精密リソグラフィ用途に理想的なマスクアライナーです。それは非常に高速で正確であり、その合理化された操作は、効率的で使いやすいツールになります。
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