中古 MIDAS MDA-400LJ #9094346 を販売中

MIDAS MDA-400LJは、マイクロファブリケーション用途で使用されるフラットマスクの整列と露出のために特別に設計された高精度マスクアライナーです。このデバイスは、単一または複数のフラットマスクパターンプレート、エキシマレーザー光源、および3軸リニアモータ駆動システムをサポートする基板ホルダーで構成されています。レーザー光源を使用して、選択したパターンプレートをプリセット用量で照射することができます。3軸リニアモータシステムは、パターンプレートと基板ホルダー間の距離を正確に制御するために使用され、デバイスの2つの要素間の完全なアライメントを確保します。基板ホルダーは、露出のために基板を正確に整列させる光学エンコーダによって駆動されます。エンコーダは、X、 Y、 Z軸の交差点として定義されている参照位置に関して、パターンプレートと基板の間の距離を測定します。この情報は、基板を正確に整列させるために、パターンプレートの位置を調整するためにデバイスによって使用されます。MDA-400LJは、0。2 µmの解像度を持つX-Yテーブルを備えており、基板ホルダーの動きを正確に制御し、必要に応じて位置を調整することができます。さらに、このデバイスはまた、露出中の基板位置の非常に高い安定性を保証する統合されたリニアエンコーダを提供しています。さらに、隣接するマスク間のピッチエラーを低減する高解像度レチクルを提供し、超微細なパターン登録を実現します。このデバイスは信頼性が高く、広い温度範囲で繰り返し動作するように設計されています。さらに、MIDAS MDA-400LJは自動マスクローダーシステムと統合されるように設計されており、デバイスは連続動作モードで動作することができます。このデバイスには、さまざまな安全機能が装備されており、AC電源またはDC電源のいずれかを使用できます。全体として、MDA-400LJは多くの微細加工用途に適した優れたマスクアライナーです。その高精度の特徴と安定性、安全性の特徴は、マイクロファブリケーションプロセスのマスク整列と露出のための理想的なデバイスになります。