中古 MIDAS MDA-12FA #9400525 を販売中

MIDAS MDA-12FAは、ウェハレベルのデバイス製造用に設計された高度なフォトリソグラフィーマスクアライナーです。ウェーハレベルの計測やウェーハレベルのパッケージングなど、さまざまなチップ成形プロセスに対応できるように設計されています。6インチ、8インチ、12インチ、15インチのウェーハを取り扱うことができ、50ミクロン以上の解像度に正確にアライメントすることができます。システムはメインフレーム、リソグラフィーヘッド、ステージメカニズムで構成されています。メインフレームには、電源テーブルとオペレーティングコントロールシステム、および機械部品に電力を供給するための主要な電気ユニットが含まれています。リソグラフィーヘッドは、ツールの最も重要な部分であり、高分解能光学とメインステージ機構のセットが含まれています。光学系を使用してマスクレベルを正確に調整し、ウェーハ全体に均一な露出を確保します。ステージメカニズムにより、X軸とY軸に沿ってウェーハとマスクを正確にアライメントできます。メインフレームとリソグラフィーヘッドに加えて、アセットにはアライメントモニターやソフトウェアなどのさまざまなツールも含まれています。モデル内のウェーハの正確な位置を測定するために、アライメントモニターを使用します。ソフトウェアは、フォトレジストの濃度、露光時間、フォーカスレベルなど、リソグラフィープロセスのさまざまな段階を制御するために使用されます。MDA-12FAは、他のリソグラフィーシステムや設備と統合されるように設計されており、幅広い機能サイズと複雑さのレベルに簡単にアクセスできます。本装置は、フォーカスを向上させるために調整できる機能を備えており、基板の高精度アライメントやイメージングにも使用できます。MIDAS MDA-12FAは、ウェハレベルのデバイス製造を向上させる高度なマスクアライナーです。50ミクロンまでの精密アライメント機能を備え、幅広いチップ成形プロセスに対応できるように設計されています。このシステムは、他のリソグラフィーシステムとの統合が容易であり、焦点特性とイメージング特性の向上に役立つさまざまな機能を提供します。