中古 MIDAS MDA-12FA #9382380 を販売中

MIDAS MDA-12FAは、回路部品のパターンをシリコンフォトマスクに転送するために使用されるマスクアライナーです。これは、高精度を必要とするアプリケーションを作るマスクのために特別に設計されています。機器はハードウェアとソフトウェアコンポーネントの両方で構成されています。このハードウェアには、光学顕微鏡システム、高解像度LCDモニタ、X-Yリニアポジショナ、および低ノイズ、高解像度ウェハステージが含まれています。ソフトウェアコンポーネントには、自動および手動のパターン認識アルゴリズム、Windowsベースのグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）、包括的な自動露出制御（AEC）ユニット、およびマスクデザインモジュールが含まれています。単位は12倍の顕微鏡の拡大および速いパターン認識を提供します。アライメント精度は0。04ミクロンで、ステージ安定性は0.Yes01ミクロンです。フル解像度の画像コントラストは0。14で、フルグレースケールは6ビットです。ウェーハ位置補正アルゴリズムを自動化し、ウェーハの着信位置のずれを軽減します。このマシンは、フォトリソグラフィ（露光および開発用）とイメージングアプリケーション（データストレージ用）の両方と互換性があるように設計されています。正と負の両方のフォトマスクアプリケーションをサポートし、最大1000 dpiの解像度で大きな画像を印刷することができます。このユニットは、自動シャットオフや緊急停止などの複数の安全機能を備えています。ソフトウェアツールは、複雑なパターンを表示、編集、分析する機能を提供します。ユーザーは、画像グリッドとクリップサイズだけでなく、パターンの解像度、サイズと回転を選択してプログラムすることができます。パターンの位置を最適化するために使用できる測定、ズーム、回転、ストレッチ、修正などのさまざまなツールがあります。マスク設計モジュールは、欠陥を低減するために露出パラメータを最適化することができます。MDA-12FAは汎用性が高く、手頃な価格で使いやすいため、高精度と柔軟性を必要とするマスクメーカーのアプリケーションに最適です。比類のないパフォーマンスを提供し、フォトリソグラフィの専門家にとって貴重なツールとなっています。