中古 MELLES GRIOT 58-805 #140303 を販売中

MELLES GRIOT 58-805は、フィルム、フォイルマスクウェーハ、およびマスクやウェーハの非接触画像を迅速に配信するように設計されたマスクアライナーです。このマスクアライナーは、MELLES GRIOT Corporationによって製造され、特許技術に基づいています。このデバイスは、顕微鏡と同様の光学レイアウトを使用して、より正確なアライメントを実現します。58-805は、MEMSおよびオプトエレクトロニクスから材料研究まで、さまざまなアプリケーションの精度とプロセス要件を満たす2つの異なる露光モードを提供します。これは、低い歪み登録を可能にする0。2 μ mまでの登録精度のための長い移動、1対1の画像露出モードを持っています。全自動プログラム可能な露出モードにより、露出精度が向上し、露出時間が短縮され、1回の実行で最大16の露出が保証されます。このマスクアライナーは、アライメントデバイスとセンサーを使用して、ウェーハ、基板ホルダー、およびマスクを正確に調整します。ウェーハの取り付けは自動で、実行時間は高速です。アライメントとフォーカスメカニズムは手動で操作され、精度は0。2 μ m x/yおよび0。1 μ m zです。さらに、迅速なアライメント装置と特許取得済みの自動焦点解除システムは、MELLES GRIOT 58-805の特徴です。Mask Alignerの画像およびパターン露出ユニットには、水銀短円弧とキセノン短円弧ランプ照明機が含まれています。光学グループは2つのランプの2つの同時活性化を含み、ツールには2つの露出パラメータがあり、1つは各ランプ用です。両方のランプの最大入力電力は175ワットであり、アセットには0。15 μ mの焦点精度のために設計された手動および電動モーターフォーカス機構もあります。58-805マスクアライナーは、PLCベースのカラータッチスクリーンコントローラとユーザーのインタラクティブ性のためのソフトウェアを利用しています。露出、アライメント、フォーカシング解除、露出後解析の処理パラメータをすべてコントローラに入力できます。さらに、精度を最大化し、プロセスを強化するために、さまざまなセンサーがアライナーに取り付けられています。全体的に、MELLES GRIOT 58-805は強力で効率的なマスクアライナーで、ウェーハとマスクを迅速かつ正確に整列させることができます。また、低歪み登録、自動プログラマブル露光モード、フォーカス解除システムなどのエキサイティングな機能も提供します。この最先端のデバイスは、MEMSおよびオプトエレクトロニクスのアプリケーションで最も一般的に使用されていますが、他のさまざまなアプリケーションにも適しています。