中古 Mark Aligner System #9007724 を販売中

マスクアライナーMark Aligner Equipment（マスクアライナー）は、フォトマスクを基板に合わせて位置合わせするために使用される自動半導体製造機です。光源、イメージングマークアライナーユニット、アライメントステージの3つの主要コンポーネントで構成されています。光源は通常UVランプで、フォトマスクと基板を照らし、イメージングマシン用の画像を生成します。イメージングマークアライナーツールは、アライメントプロセスに使用される2つのオブジェクトの高解像度の画像またはビューをキャプチャします。アライメントステージは、その画像を使用してオブジェクトを正確かつ正確に整列させるモーター駆動アセットです。通常、クローズドループのMark Aligner Modelを使用して、ミスアライメントを積極的に検出して修正します。マスクアライナー装置は、集積回路（IC）を作成するための製造プロセスで使用されます。フォトマスクは、集積回路のパターンを含むガラス板であり、ウェハ上に正確に配置する必要があります。マスクアライナーMark Aligner Systemは、フォトマスクの位置と向きがウェーハ自体に関連して正しいことを確認するために使用されます。マスクアライナーは、ICの層が正確に整列してパターン化されていることを確認するために、その後の計測およびオーバーレイ測定にも使用されます。正確なアラインメントを実現するために、ユニットにはオートフォーカス、オートドリフト、オートチルトなど、多くの自動化された機能があります。オートフォーカスはアルゴリズムを使用して各画像の焦点を検出し、それに応じて画像を調整してアライメントの精度を最大限に高めます。オートドリフトは、マスクを移動してもフォトマスクと基板のアライメントを維持してアライメントを実現するために使用されます。最後に、autotiltを使用して、フォトマスクが基板に対して常に同じ角度にあることを確認します。全体として、Mark Aligner Machineは高精度のアライメントを提供し、集積回路の製造において高品質の製造ジョブを実行するために重要です。