中古 M & R NANO TECHNOLOGY AG350-4N-D-S-S-H #192117 を販売中

M & R NANO TECHNOLOGY AG350-4N-D-S-S-H
ID: 192117
ヴィンテージ: 2007
Mask aligner and exposure system Currently idle 2007 vintage.
M&R NANO TECHNOLOGY AG350-4N-D-S-S-Hは最先端のマスクアライナーです。フォトリソグラフィやその他のマスキングプロセスのための半導体ウェーハやその他の基板と正確かつ正確にマスクを揃えるように設計されています。AG350-4N-D-S-S-Hは、2つの独立したモーターを使用して基板ステージを正確に駆動する独自の電磁式デュアルドライブ装置を備えており、反復可能な高速タスクでより均一な精度を向上させます。モーションコントロールシステムは、リアルタイムオートフォーカスや低欠陥、スクラッチフリーアライメントなどの追加オプションを使用して、より高速なアライメントプロセスを可能にします。また、Auto SnapshotやProjection Overlayなどの高度なアライメントビジュアライゼーションツールも備えており、進行中のアライメントタスクの2次元イメージをレンダリングします。この画像を使用すると、フィデューシャル検査またはパターンステップを実行する前に、不整合をすばやく特定できます。マスクアライナーには、振動を低減し基板温度を制御するチラー、レーザーマーク検査、セミメトリックアライメントツールなど、さまざまなオプションがあります。また、基板ローディング、輸送、および保持ユニットを内蔵しており、基板の迅速かつ簡単な切り替えを可能にします。M&R NANO TECHNOLOGY AG350-4N-D-S-S-Hは、高精度のNA光学レンズとレーザーベースのアライメント機能を使用しながら、正確なアライメントを確保するために、高度な光学系を使用しています。また、統合されたOn-The-Fly評価機を備えており、アライメントプロセスが正確かつ正確であることをリアルタイムで確認します。AG350-4N-D-S-S-Hは、速度、精度、再現性が重要な大規模および中規模の生産環境に最適化されています。高度なアライメント機能とビジュアリゼーションツールにより、重要な生産ニーズに最適です。さらに、その小さなフットプリントとポータブル設計は、簡単なインストールと展開を可能にします。高度な機能と利点を備えたM&R NANO TECHNOLOGY AG350-4N-D-S-S-Hマスクアライナーは、生産プロセスを改善するためのハイエンドで信頼性の高いマスクアライナーを探している組織にとって理想的な選択肢です。
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