中古 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003961 を販売中

KASPER/EATON/QUINTEL 2001は、シリコンウェーハ、半導体ウェーハ、有機基板などの様々な基板上にサブミクロンの特徴のパターンを正確に配置するために使用されるマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）マスクアライナーです。このマシンは、高精度な構造を作成するときに2つ以上の部品間で発生するアライメント操作に柔軟性を可能にする6軸の機能を備えています。EATON 2001のマスクのアライナーは正確な直線を達成するのに大きいおよび小さい光学系の組合せを使用します。大型光学系は基板上のパターンの初期アライメントに使用され、小型光学系はより細かいアライメントと登録に使用されます。光学系は、回転と変換の両方を使用して画像を正確な位置合わせにする5軸モニタメカニズムに統合されています。アライナーは、ライングリッドアレイ、スポット、正方形、長方形、その他の形状など、さまざまな種類の画像パターンが可能です。機械はまた非常に正確な位置のフィードバック装置が装備されています。このシステムは、パターンのアライメントが仕様内にあることを保証します。位置フィードバックユニットの精度は、ステージの精度と形成されるパターンのサイズに依存します。パターンのサイズやアライメントの精度は、用途に応じて調整できます。KASPER 2001のマスクのalignerにまた機械をプログラムし、制御するのに使用される非常に強力なソフトウェアパッケージがあります。このソフトウェアは、機械の簡単な操作と制御を可能にする直感的なユーザーインターフェイスを提供します。また、このソフトウェアは、品質管理のために使用することができ、アライメントプロセスの精度を向上させる統計分析、パフォーマンスレポート、グラフィカル表現をユーザーに提供します。全体的に、QUINTEL 2001マスクアライナーは、さまざまな基板上のさまざまなパターンの正確なアライメントを必要とするプロジェクトのための優れたツールです。強力なソフトウェアと精密な位置フィードバックマシンにより、高精度な部品の製造に理想的な機械です。