中古 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003958 を販売中

KASPER/EATON/QUINTEL 2001は、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される特殊な装置であるマスクアライナーです。フォトリソグラフィーマスクなどの部品をウエハー加工時に基板上に正確に配置するように設計されています。デバイスの主な特徴は、その高精度です。これは、EATONマスクアライナーとKASPERステージの2つの別々のデバイスによって実現されます。QUINTELマスクアライナーは、レーザー直接画像（LDI）制御レチクル上に配置されたフォトマスクを収容します。LDI制御レチクルは、基板から高精度の測定を行い、フォトマスクの配置を可能な限り正確にします。収集したデータはKASPER/EATON/QUINTELステージに転送されます。このデバイスは、精密モータを使用して、基板上のフォトマスクを正確に移動させます。モータはEATON Quadrature Encoder Absolute Positioning （QEAP）技術に基づいており、フォトマスクの正確な位置決めを保証します。この2つのデバイスを組み合わせることで、EATON 2001マスクアライナーが得られ、非常に正確なマスクアライメントが可能になります。KASPER 2001マスクアライナーは、単層露出、二重層露出、プレパターニングなど、さまざまなリソグラフィープロセスで使用されます。これは、露光源、トラックシステム、ウェーハステッパー、ウェーハステッパーローダーなど、マイクロエレクトロニクスデバイスの作成に使用される幅広い機器の一部です。QUINTEL 2001の設計により、他のツールとの統合が容易になり、製造プロセスのセットアップ時間と複雑さが軽減されます。正確さとアライメント速度に加えて、2001マスクアライナーは、設計に組み込まれたさまざまな安全機能を備えています。また、電源切断時でもマスクを確実に固定できるように、停電防止システムを装備しています。また、定期的に機器を正しく保守・清掃するためのメンテナンスアラートシステムもあります。KASPER/EATON/QUINTEL 2001マスクアライナーは、非常に強力で信頼性の高い機器であり、マイクロエレクトロニクス業界で不可欠なツールです。これは信頼性が高く効率的であることが証明されており、メーカーやオペレーターにも人気のある選択肢です。