中古 KASPER / EATON Custom #318 を販売中

KASPER / EATON Custom
ID: 318
ウェーハサイズ: 5"
Manual load mask aligners with spare parts.
KASPER/EATON Customは、集積回路の生産に費用対効果の高い方法で使用される高度なマスクアライナー装置です。集積回路装置の高速加工が可能です。それはより高い柔軟性、正確さおよびより高い収量を提供するためにそれを使用する会社の厳密な指定に合わせられます。EATONカスタムマスクアライナーの主なコンポーネントは、モノラルステッパー、光学テーブル、マイクロプロセッサベースのコントローラ、電気/機械アーム、ワークステーションです。マスクアライナーは、高いオートメーション機能を備えた高速かつ精度を提供するように構成されています。モノラルステッパーはレーザービームを使用して、マスクパターンをウェーハに露出させます。これにより、パターンの正確な登録と非常に正確なアライメントが可能になります。その光学テーブルは、ビームの角度を調整し、マスクパターンのための投影の所望の角度を達成するために傾斜運動を提供します。マイクロプロセッサベースのコントローラを使用して、腕の動きを制御し、マスク上のパターンと画像のオーバーラップを最適化します。これは、デバイスの機能がウェーハ上に正確に配置され、デバイスのパフォーマンスが損なわれないようにするのに役立ちます。マスクとワークステーションを配置するために電気/機械アームを使用し、生産を停止することなく常に調整することができます。KASPERカスタムは、自動アライメントとウェーハセンタリングにも使用できます。ウェーハ層の高解像度画像を提供できるビジョンユニットと、正確なアライメントとセンタリングのための手動工具位置決め機を備えています。さらに、このツールには、効率的なパラメータ設定と計算を可能にする高度なソフトウェアが搭載されています。これは、集積回路デバイスのコスト効率の高いアライメントを提供するのに役立ちます。結論として、カスタムは、優れた精度を提供する信頼性と高度なマスクアライナー資産です。そのコンポーネントは、高速処理と自動化されたアライメントを可能にし、目的のデバイス機能が正確に整列され、デバイスのパフォーマンスが妥協しないことを保証します。さらに、その高い柔軟性は、集積回路デバイスのコスト効率の高い製造を提供します。
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