中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9229803 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-55マスクアライナーは、基板やウェーハのリソグラフィパターンを正確かつ再現可能にするアライメントツールです。この機械は簡単な維持および操作とプログラム可能な精密整列および露出機能を提供します。MICROTEC MJB-55は8つのµmおよびサブミクロン空間の最小分解能の線幅を作り出すことができます。非常にタイトなアライメント精度を提供し、≤ 2 µmの最小のオーバーレイ精度を実現します。高度なフォトセルビームアライメント装置と自動化された制御により、KARL SUSS MJB55は高速でパターンの高精度なアライメントを提供します。デバイスは自己完結型で、すべてのコンポーネントが単一の機器に統合されています。5インチ絞りとカバースリップを備えた真空チャック、ナイフブレードとピンザーステージ、ディフューザーボックス、ウェーハホルダーを備えています。MICROTEC MJB55の光学系は、2つの液冷中圧水銀蒸気ランプと2つのコーラー照明段で構成されています。ビーム透過レチクルは、機械に簡単にロードされる真空マガジンで保持されます。アライメントマスク面は、水平スキャン用の露出ステージに配置されています。KARL SUSS/MICROTEC MJB55は、レーザーエッジ検出とブライトフィールド照明を組み合わせた独自のビーム透過アライメントユニットを使用し、精度と再現性の高いパターニングを実現しています。このデバイスは、ステージとイメージングレンズの微細なフォーカス制御のための電動Z軸を採用しています。露出は、エッジ検出と登録のための高品質の光学機器を使用して監視されます。統合された制御機構により、自動および半自動運転が可能です。MJB-55には近接センサー、エンドストップ、包まれたカメラなど、さまざまな安全機能も備えています。マシンは、セットアップと操作を効率的なプロセスを作る、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスを持っています。洗練された設計、柔軟性、ユーザーフレンドリーな操作により、基板やウェーハの迅速かつ正確なパターニングに最適です。