中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-55は、ウエハハンドリング機能を備えた高精度5軸マスクアライナーです。フォトマスクのパターンをフォトレジスト被覆基板に正確に転送するように設計されています。MICROTEC MJB-55は、PC制御の精密5軸リニアモーションと回転モーションのユニークな組み合わせを利用して、基板に正確にパターンを転送して整列させることができます。この装置は、高速かつ正確なパターン転送時間を提供するように設計されており、高速リソグラフィやラピッドプロトタイピングなどのマスクプロセスに最適です。KARL SUSS MJB55は、最大6インチの基板を収容でき、最大160mmの標準X-yステージを提供します。シングルステージ、ダブルステージ、トリプルマスクステージなど、複数のステージ構成があり、リニアサーボモータとエンコーダ技術により、高精度なアライメントを実現します。x-y- θ-φ -wアライメントステージは、優れた再現性と共に運用の柔軟性を提供します。さらに、0〜50 μ mのフォーカス/z範囲により、パターン転送プロセス中に安定したフォーカスが可能になります。KARL SUSS MJB-55は、様々な工程に対応したウェハサイズ対応の高速ステージを備えています。また、ウェーハの拡張/拡張と温度制御を提供し、アライメントと露出時間を改善します。ウェハハンドリングアクセサリーは、スピンコーティング、液体処理用トラフ、湿式および乾式処理、ソルゲル、PED、 CMPなど、複数の基板サイズとプロセスに構成できます。さらに、統合された高解像度イメージングアライメントユニットとリアルタイムのアライメントと露出のためのオートフォーカス機能を搭載しています。これにより、最大1 μ mの高速かつ正確なパターン転送とアラインメントが可能になります。このマシンは、データ収集ツールにリンクする機能を備えた本番環境に統合できます。ロボット統合パッケージは、マスクメーカーがスループットを最適化し、クリーンルーム空間を節約するのに役立ちます。さらに、メンテナンスフリーの設計と直感的なユーザーインターフェースにより、メンテナンスと操作が容易になり、さまざまな生産アプリケーションに最適です。
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