中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #293636565 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-55はフォトリソグラフィープロセスに使用されるマスクアライナーです。このアライナーは、ウェーハやその他の基板上の微細構造の精密な位置決めを容易にするように設計されています。これにより、研究者や技術者は、高精度で信頼性の高い非常に小さな集積回路や微細構造を正確に製造することができます。マスクアライナーには、キセノンアークランプとハロゲンバックライトで構成された明るく均一な光源が含まれ、投影レンズに均一な照明を提供し、一貫したアライメント精度を確保します。また、幅広いフィールドサイズと解像度を提供する高度な光学システムを備えているため、より高いアスペクト比ジオメトリで高い精度を達成できます。MICROTEC MJB-55は、レンズ倍率を自動調整する倍率制御（M-Control）を採用し、位置合わせ位置が変わっても解像度を維持します。マシンの厳しい安全機能により、最新の安全基準に準拠しています。これらの特徴は、光源用のシャッターや静電気を低減するためのイオン化エアーシステムなど、豊富な環境保護のいくつかの層が含まれています。X-Yステージは、90、180、360度の制御された移動範囲で、直径12インチまでの大きなウェーハを移動することができます。Z軸はダイレクトドライブモーターと統合されており、一貫性のある移動と精度を確保します。YステージとZステージの精度を追跡し、熱膨張による誤差を補正するエンコーダで位置決め精度を実現します。精密部品と高度なソフトウェアに加えて、カールサスMJB55は幅広い用途に対応する柔軟性を提供します。最大4レベルのマスクを揃えることができ、マルチレベルのメタライゼーション、薄膜、ガラスベベルなどのプロセスに使用できます。MJB-55は信頼性の高い高性能マスクアライナーで、最も小さな部品でも信じられないほどの精度で正確に処理できます。多くの先進的な機能とオプションを備えたこのアライナーは、再現性と信頼性の高い結果を得るための汎用性と費用対効果の高いソリューションを提供します。