中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #9395957 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4は、エレクトロニクスおよびマイクロ機械産業におけるフォトリソグラフィープロセス用に設計されたマスクアライナーです。この装置は2軸システムで、コンタクトマスク、光学リソグラフィに使用されるプロジェクションマスク、マイクロマシニング用の半透明リフトオフマスクなど、さまざまなフォトマスクに対応できます。自動化されたプラットフォームは、高精度の4軸アライメントユニットを使用しており、正確で正確で反復可能なマスクの位置決めを可能にします。これは、ウェーハ上で作成されたパターンの精度と品質を最適化するのに役立ちます。MICROTEC MJB4は、高解像度伝送CCDカメラと効率的な照明投影機を備えています。この90ワットの短いアークHIDヘッドは、照明と高スループットを提供し、いくつかの異なる波長プロファイルのオプションで作業することができます。さらに、その高度なエレクトロニクスは、露光時間が常に一貫しており、基板上のパターンがプロセス中に動かないことを保証します。このツールのイメージングソフトウェアは、リソグラフィープロセスに関しては非常に貴重なツールであり、パラメータ入力、レシピ作成、アライメント設定、データロギング、およびプロセス結果のための使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。また、フォーカス、露出時間、マスク位置などのプロセスデータを取得するためにデータログを作成し、プロセスのトラブルシューティングと最適化を行うことができます。さらに、ソフトウェアは、個々の基板に適切にアライメント設定を適合させるために、さまざまな基板サイズを認識することができます。KARL SUSS MJB 4はまた、高精度のステージ資産と圧電モータ制御技術を使用して正確なアライメントを行い、結果パターンにおける歪みのリスクをさらに低減します。また、ウェーハレベルの温度制御技術を搭載し、パターン配置精度の向上、ウェーハフラット性の向上、高品質プリントを実現しています。最後に、機器には安全機能が内蔵されており、危険物を扱うときに安心して使用できます。これにより、KARL SUSS MJB 4は、現在のフォトリソグラフィ作業を開始または改善するための理想的な選択肢となります。ユーザーフレンドリーな操作と組み込みの安全プロトコルにより、あらゆるラボに貴重な追加が可能です。また、正確で再現性のある高解像度露光機能により、高品質のウェーハパターンを作成することができます。