中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #293751563 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4は、MICROTECが開発したマスクアライナーです。これは、非均一基板のために設計されたフルフィールド、高精度の接触アライメント装置です。精密な可動x/yステージと整列対物レンズで構成され、リソグラフィ作業中のフォトレジストの正確なマイクロパタンアライメントを可能にします。システムには、マスターブラケットとアライメント目的のペアの2つの主要なコンポーネントがあります。マスターブラケットは、機械式クランプで基板を固定し、アライメントの目的は、もともと配置された1つのリトグラフィックレチクルの正確なアライメントを提供します。メカニカルクランプは、高いクランプ圧力によるアライメント歪みを最小限に抑えながら安定性を提供します。目的には、必要なアライメント精度を提供するための精密調整可能なレンズが含まれています。MICROTEC MJB4の精度は、調整可能な接線力スプリングによって制御される非常に平坦で平行な表面ガラス板からなる独自のキネマティックユニットを使用しています。圧力補償機の精度は、マイクロパターンの非常に正確な露出を可能にします。アライメントの目的には、速度依存の電子フォーカスドライブが装備されているため、基板の迅速かつ正確なアライメントが可能です。KARL SUSS MJB 4は、フルフィールド露出ツールを備えており、大型基板の露出を容易にします。このアセットは、X軸とY軸の両方でサブミクロン分解能が可能で、パターンの正確な露出を保証します。サポート据え付け品の付属品は異なった形、サイズおよび物質的な内容の基質のための広い収容の範囲を提供します。このマスクアライナーは、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、フラットパネルディスプレイ技術、およびその他の精密リソグラフィ用途に携わる組織に最適です。優れた精度と再現性のあるパフォーマンスを提供し、フルフィールド露光オペレーションで最高品質の結果を提供できます。