中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9284673 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、フォトリソグラフィ用の基板を正確に整列させるために使用される最先端のマスクおよびレチクルアライナーです。この先進的な装置は、マルチセンサーヘッドを備えたイメージングコンピュータを使用して、2つの基板間のアライメントを検出および実現します。MICROTEC MJB3は15nm以内までの差動スリット測定が可能で、ナノメートルスケールの設計においてほぼ完璧なアライメントが可能です。機械は6インチから12インチの正方形の部分までいろいろな基質のサイズを、使用するように設計されています。真空チャックシステムは部品を安全に保持し、CCDカメラはアライメントプロセス全体で位置を監視します。精度と解像度を高めるために、イメージングユニットは特許取得済みの超精密ファインアラインテクノロジーを使用しています。KARL SUSS MJB 3では、アライメントを検出して実現するために、4つのコーナーエッジセンサー、4つのトップリファレンスセンサー、4つのエッジリファレンスセンサーを備えた専用ヘッドを採用しています。高解像度光学系と組み合わせることで、高精度で高速アライメントが可能です。KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、エンジニアはジョブに関連するパラメータを簡単に表示および調整できます。これには、高度な画像解析、画像キャプチャとラベリング、リアルタイムの自動チューニング、使用状況のログなどの機能が含まれます。さらに、マシンはユーザー定義のパラメータとデバイス履歴を追跡および保存し、成功したジョブの簡単なリコールと再実行を可能にします。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は非常に高度で正確なマスキングおよびレチクルアライナーであり、最も複雑なフォトリソグラフィープロジェクトでも高解像度のアライメントを提供できます。