中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9270076 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、フォトリソグラフィ製造用に設計された光学マスクアライナーです。マイクロエレクトロニクス業界の半導体デバイスに使用される超微細パターンを作成するための汎用性の高い高精度ツールです。MICROTEC MJB3は屈折マスクアライナー機能を備えています。これは、x、 y、およびz軸の動きを提供する圧電ステージによって駆動されます。KARL SUSS MJB 3には、小型および大型のスケールパターン転送に使用される可変カメラ装置もあります。また、可変低減イメージングユニットも搭載しており、幅広いパターンサイズで極めて正確な位置決めと拡大を可能にする革新的な機能です。KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、600mmウェーハまでの高精度とスループットを一貫して保証するように設計されています。優れた画像安定性、解像度、および画像オーバーラップ特性を提供し、積極的な光学印刷アプリケーションに適しています。MICROTEC MJB-3は、調整可能なガイドマシンである特許取得済みのVFT （Vertical Feed Through）によって高度な位置精度を実現しました。VFTは、露出の再現可能なスピンアライメントを可能にし、複数の露出後でも正確さを確保するためのギャップフリー登録を提供します。MJB-3には機械式自動荷重およびアンロードツールも付属しており、オペレータのエラーを最小限に抑えて信頼性の高い再現性のあるウェーハ交換を提供します。このアセットは自動化されており、5ミクロン以下の反復登録精度で25mmから600mmまでのウェーハサイズを処理できます。高精度の光学光学系は、手動レンズの最適化の必要性を排除し、光学系の高速かつ信頼性の高いアライメントを可能にし、高スループットと効率を可能にします。KARL SUSS MJB 3には、露出パラメータやその他の関連データを簡単に設定できるソフトウェア制御プロセスモデルも含まれています。この装置は写真プロセスのあらゆるステップのための詳細な制御記録を提供し、また必要に応じて訂正することができるすべての欠陥への容易なアクセスを提供します。全体として、MICROTEC MJB 3マスクアライナーは、最高レベルの精度とスループットを提供するように設計されたフォトリソグラフィ製造に使用される高精度のツールです。屈折マスクアライナー機能、調整可能なガイドシステム、機械式自動荷重およびアンロードユニット、写真光学、およびソフトウェア制御プロセスマシンを備えたKARL SUSS/MICROTEC MJB 3は、マイクロエレクトロニクスに必要なパターンを作成するための堅牢で信頼性の高いツールです。