中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9257920 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、直接書き込み電子ビームリソグラフィに使用されるマスクアライナーです。電子銃、アライメントステージ、ウェハステージ、コラムで構成されています。電子銃は、10ナノメートルの小さな線や形状を生成するのに十分な精度の集中電子ビームを放出します。アライメントステージは、選択したレチクルをウェーハに対して正確かつ反復可能な位置に保持します。ステージを最適化して電子ビーム構造を正確かつ正確に追従させ、再現可能な露光を可能にします。リファレンスレンズをアライメントステージに追加することで、ウェーハ上の電子ビームの焦点と倍率を調整することができます。ウェハステージは、露出のために基板、レジスト、アライメントターゲットを保持する場所です。この段階はX軸とY軸に沿って高い精度と再現性を持っています。ステージは、1つのセッションで複数のウェーハをスキャンする機能を備え、さまざまなウェーハサイズに設定できます。このコラムには、電子ビームを焦点とするレンズ、開口部、ゲート電極のシリーズが含まれています。これらのコンポーネントが連携してビームの形状、サイズ、強度を最適化し、密な環境でもパターニングデータを正確に取得できます。MICROTEC MJB3は、アライナーを制御し、正確に複雑な層の形成を可能にする強力なソフトウェアパッケージを備えています。それはまた水蒸気、湿気および熱の存在下で作動することを可能にする環境の部屋と形成することができます。これにより、ユーザーはより正確で反復可能な露出を行うことができます。高度なアライナー、正確なウェハステージ、強力なソフトウェアの組み合わせにより、KARL SUSS MJB 3は、高いスループット、半導体回路およびデバイスの高解像度生産に適しています。機能の組み合わせは、集積回路のカスタムパターニングとプロトタイピングにも最適です。