中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248457 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、集積回路の製造に使用される半導体計測装置の一種であるマスクアライナーです。MICROTEC MJB3には、サブミクロン精度で、標準ウェーハと先進ウェーハの両方で複雑な設計を行うことができる特殊なチャンバーが装備されています。これは、回路設計を含むマスクからパターンをウェーハに転送するために、ウェーハの表面をレーザーから焦点光にさらすことによって達成されます。KARL SUSS MJB 3は、高度なマスクアライナー技術と低コストで高効率な光学部品により、高いスループットと歩留まりを実現します。本装置は、4軸オブジェクトレンズステージ、ミラーアシスト光学アライメントを搭載し、ステッパーの正確なアライメントを可能にし、最大スループットを実現します。その上で「、デュアルレンズ」の光学機器は、個々のマスクが設計から目標とする解像度と若干異なる解像度を持つ可能性があるという事実を補う。KARL SUSS MJB-3は、製造コストと欠陥を削減するために、光学システムのデフォーカス調整とさまざまな高度な倍率と照明パラメータを組み込んでいます。7インチステッピングレンズは、フォーカシングエラーを低減し、回路全体の設計が正確なレーザー光源に均一に露出することを保証します。MICROTEC MJB 3はまた、対流冷却マスクホルダーを使用して、マスクの熱ゆがみを低減し、デザインのぼやけやずれを引き起こす可能性があります。MJB 3は、ヘビーデューティで密閉されたアルミニウムハウジングを使用して構築されており、ユニットは防振性があり、簡単に移動することができます。ウェーハの向きが異なる場合があるため、効率的なウェーハ製造には重要です。さらに、この機器には、ビデオ監視、ダイレクトアラームマシン、照明付きレチクルが装備されており、毎回一貫した結果が得られます。MJB-3は、薄膜や大面積ウェーハ加工など、さまざまな用途に最適なマスクアライナーです。この装置は、ほとんどのウェーハ設計、偏光材、フォトマスク材料と互換性があり、すべての半導体製造用途に対応する汎用性と信頼性の高いソリューションです。