中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248455 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、様々な材料の精密で大規模なアライメント用に設計された光学マスクアライナーです。フォトリソグラフィからマイクロマシニングまで、またパターン化された基板の作成に使用されることが多い。高精度の光学機器、オートフォーカス制御、可変圧力マニュアルアライメントを採用しています。MICROTEC MJB3は、基板上にマスクを保持して正確に動かすマスクボットと、マスクボットを使用して基板を正確に配置するマイクロマニピュレータの2つの主要部分を備えています。マスクボットには、マスクアライメント用と基板アライメント用の2つのステージを移動する精密なXYZモーターが含まれています。カールサスMJB 3の相対位置合わせ精度は0。2 µmです。また、KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、1。2 µmまでの高解像度単層アライメントが可能です。また、シングルとダブルマスクのアライメント、最大25。4 µmの解像度、4、8、または12インチマスクの選択肢もあります。精密なアライメントを確保するために、KARL SUSS MJB3はマイクロマニピュレータに最先端のレーザーベースのアライメントシステムを備えています。このユニットには、単波長と2波長（赤/緑）のオプションが含まれています。その2波長マシンは、マスク位置決めの精度を高めることができます、その単波長ツールは、緑色のフィルムマスクで最高の動作しながら、。MICROTEC MJB 3には、マスクの位置合わせ精度を測定するための洗練された方法も組み込まれています。フィルムマスクのエッジと基板のエッジの差を0。1 µmの精度で測定するなど、特殊な接触測定を使用しています。このデバイスはまた、アライメント中に基板の信頼性の高いホールドを提供する真空チャックを備えています。このチャックは、基板をジャーク運動から保護するのに役立ちます。さらに、より高いクランプ力を必要とする基板には、選択可能な圧力制御オプションがあります。要するに、MICROTEC MJB 3は、さまざまな用途向けに設計された高精度で大規模なマスクアライナーです。信頼できるアライメント精度、自動フォーカス制御、可変圧力手動アライメント、および複数のマスク構成を提供します。フォトリソグラフィや微細加工の量産やパターン基板の製作に最適です。