中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9091663 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、マイクロエレクトロニクスデバイスのプロトタイピングと製造の両方でリソグラフィ処理に使用される高精度マスクアライナーです。MICROTEC MJB3は、投影光学機器を介したステップアンドリピート露光を利用し、1umのアライメント精度を実現しています。超高解像度の機能により、光アライメントの問題を最小限に抑え、生産歩留まりを向上させます。KARL SUSS MJB 3は、直径最大6インチ（160mm）のフィールドサイズを提供し、アライメントシステムには20点の自己測定光学オンアラインメントユニットを備えたX&Y軸リニアエンコーダが含まれています。MICROTEC MJB 3は、キネマティックロックを備えた高精度の機械式オートフォーカスを備えており、フィールド間の完全な補償が可能です。また、ビーム成形機、オレンジフィルター、ドロップ検出、クリーニングツールも含まれています。MICROTEC MJB 3は、タッチスクリーンとPC-GUIユーザーインターフェイスを備えたデジタルディスプレイコンソールを備えています。その顕微鏡は、低倍率サイドビューと断面観察能力の両方を備えています。これは、確実にデバイスを処理するための完全に自動化されたプロセスを提供し、追加の機器を最小限に抑えて生産ラインに統合することができます。KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、デバイス製造のための信頼性の高いツールであり、リソグラフィ精度の最高基準を満たしています。これは、高いプロセス収率を確保し、迅速に再現可能な結果をもたらすのに役立ちます。大規模及び小規模事業に適しており、費用対効果の高い装置製造のための確立されたツールとなっています。