中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9035395 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Alignerは、高解像度フォトレジストプロセスを利用した半導体デバイスの製造専用に設計された、小型、高精度、完全に自動化されたミクロンレベルのアライメント装置です。3 µmの再現精度と、4 「x4」の領域に1-2 µmのオーバーレイを実行することができます。このシステムは、高度なレーザーオートフォーカス機能を使用して、各アライメントサイクルの前にウェーハとレンズの正確な位置を検出し、ウェーハのアライメント位置の正確さと再現性を保証します。MICROTEC MJB3マスクアライナーは、深紫外線、電子ビーム、イオンビームリソグラフィの最大分解能の要件に対応するように設計されています。KARL SUSS MJB 3アライナーは、ステッピングモーターと光学レバー駆動のステップアンドリピートアセンブリを使用しています。このアライメントは、便利なウェーハフリップまたは基板交換用のモーター式ウェーハインデクサーユニットを備えているため、処理時間の短縮とスループットの向上を実現します。MICROTEC MJB 3マスクアライナーの制御ユニットは、機械の操作と観察を容易にするための統合された操作パネルと、グラフィカルユーザーインターフェイスを介して、データロギングと制御のためのIBM互換の386 PCで構成されています。PCとパネルはハード配線され、タッチセンシティLCDモニターとプッシュボタン選択ツールとインターフェースされています。アセットはスタンドアロンモードで動作し、より大きなプロセス制御モデルと統合することもできます。KARL SUSS MJB 3マスクアライナーは、アライメント精度と精度のために、2軸マイクロメーターのステージ制御とガルバノメーター駆動レーザー制御を採用しています。この装置は、マスキング、マスククランプ、基板保持に垂直および水平の真空フレーム、および高さと力クランプを調整可能なモジュラー基板ホルダーとマスクホルダーアセンブリを使用しています。MICROTEC MJB 3システムの設計には、保護シールド、キーインターロック、安全インターロックにより、オペレータの安全性が組み込まれています。単位は700ワットの最高評価される力の有効なエネルギー消費のために設計されています。95cm x 65cmのマシンフットプリントは、あらゆる半導体製造ラボに最適であり、その多数の統合された機能により、正確で反復可能なリソグラフィのための合理化されたユーザーフレンドリーなツールとなります。