中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9024175 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、半導体製造に使用されるマスクアライナーまたはマイクロリソグラフィーツールです。このツールは、主にウェーハフォトリソグラフィ、光学近接補正、アクチニックインスペクションのプロセスでウェーハをパターン化するために使用されます。MICROTEC MJB3は非常に精密で高解像度のステージを持ち、最も正確な結果を提供します。KARL SUSS MJB 3アライナーは、KARL SUSS/MICROTEC MJB 3ベースプラットフォーム、基板アライメントシステム（SAS）、特許取得済みのマスクアライメントセンサアレイ（MASA）で構成されています。ベースプラットフォームは、レーザー誘導アライメントシステムを備えた安定化レベルで構築されています。このシステムは、フォトリソグラフィープロセス中のマスクに関して基板ウェハレベルを維持するように設計されています。SASは、基板グランドレベルの正確な位置決めを可能にする6軸マニュアルステージです。最後に、MASAは4つのソリッドステートカメラで構成され、露出されたマスク設計のリアルタイムフィードバックをユーザーに提供します。KARL SUSS MJB-3アライナーは、写真活性基板登録、自動パターン生成、自動実行アライメントなどの機能を備え、精密マスク登録において優れた性能を提供します。Photo-activated Substrate Registrationでは、最大12個のウェーハを同時に登録できます。この機能により、セットアップ時間を短縮し、全体的なスループットを向上させることができます。自動パターン生成機能を使用すると、マスク設計の経験がなくても、新しいマスクをすばやく作成できます。最後に、自動ランアライメント機能を使用すると、あらかじめ形成されたマスクを基板ウェハに正確に登録できます。さらに、MJB 3は、ハイスループットポリイミドラッピング、シングルサブストレートモード、再生可能基板登録などの他の機能を提供します。これらの機能により、二次処理にかかる時間を短縮し、マスク登録時間を短縮することで、スループットを最大化できます。全体として、MICROTEC MJB 3マスクアライナーは、半導体製造に不可欠な部品であり、ユーザーに優れた精度と高解像度を提供します。このアライナーは、効率的な処理機能を提供し、その機能は、迅速に新しいマスクを作成し、一度に複数のウェーハを登録することができます。