中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #76306 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、半導体デバイスを作成するために使用されるステッパーとしても知られるマスクアライナーです。これは、トランジスタ、ダイオード、抵抗、メモリセル、コンデンサなどのさまざまなコンポーネントを作成するのに適したリソグラフィーツールです。MICROTEC MJB3は、半導体材料の表面に光のパターン、またはマスクを投影することによって動作します。その後、マスクアライナーは、精密制御されたXおよびY可動ステージのペアを使用して、半導体ウェーハ上のパターンを正確に整列させます。これは、マスクと半導体ウェーハのX軸とY軸の動きを同期させるコンピュータ制御のステッピングメカニズムによって行われます。さらに、KARL SUSS MJB 3には光学アライメント装置があり、パターンを正確に配置するのに役立ちます。MJB-3は、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）と呼ばれる最先端のマイクロリソグラフィー技術を利用しています。この技術は、反応性イオンビームエッチングと深紫外線リソグラフィを組み合わせて、高精度の半導体ウェーハ表面にパターンを正確にエッチングします。KARL SUSS MJB3は、高度な光学アライメントシステムも備えています。これにより、マスクが半導体ウェーハの上に正確に配置され、ナノメートルスケールにまで達します。さらに、このアライメントユニットは、エッチング処理中に発生する歪みを軽減するのにも役立ちます。また、KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は、多くの安全機能を利用しています。これらは、ツールが安全に動作し、オペレータとウェーハの両方を潜在的な損傷から保護するのに役立ちます。その他の機能としては、粉塵や粒子が装置や半導体ウェーハを汚染するのを防ぐための汚染防止装置があります。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は先進的で高効率なマスクアライナーで、半導体デバイスで使用するさまざまな部品を製造するのに適しています。コンピュータ制御の精密運動、光学アライメント、高度なDRIEマイクロリソグラフィーを組み合わせることで、高品質の半導体部品を製造するための貴重なツールとなります。