中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293797042 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Alignerは、4インチおよび6インチ基板の高解像度接触リソグラフィ用に特別に設計されたフルキャパシティのアライメントおよび露光装置です。現場でのフォーカスモニター、高速オートフォーカス、内蔵のモーター式Zステージ、高精度のウェーハアライメントにより、微細な微細構造を製造する際に、MICROTEC MJB3は比類のない精度を提供します。また、光学系は非常に堅牢で、優れた直線性、高コントラスト、シャープな画像を提供します。KARL SUSS MJB 3は、システムを正確に制御するために、再現可能な高精度アライメント、フォーカシング、露出、ステージステップのための最適化された数値光学制御ユニットを備えています。MICROTEC MJB 3の直感的なソフトウェアは、複雑なリソグラフィープロセスを簡素化するために開発されました。パラメーターの駆動、オブジェクトサイズの選択、および機械構成にユーザーフレンドリーな設定を提供し、ユーザーは信頼性の高いプロセスを迅速かつ簡単に作成できます。ソフトウェアはまた、詳細なツールのパフォーマンス分析のための設定と結果の包括的なログを提供します。アプリケーションごとに露出を最適化するために、アセットには幅広い照明設定と可変的な数値絞りが含まれています。可変的な数値の開きは構造のサイズおよび決断の条件によって要求された決断が達成されることを保障します。反射と吸収を最適化した光学系は、アスペクト比を8インチまで変化させることもできます。これにより、マスクと一致する設計アスペクト比を最適化することで、可能な限り最高の解像度を保証します。ウェハローディングとアンロードのために、MJB 3モデルは、手動ハンドリングまたは最大12ウェハに対応する調整可能なホルダー付きの統合カセットローダーを提供します。カセットローダーは10°C低い制御温度の状態を提供します。さらに、傾きと回転機能を使用して、ショットごとにウェーハの向きを調整することができます。全体として、MJB-3 Mask Alignerは、再現可能な精度と高解像度で正確なリソグラフィックパターンを提供します。その精密な光学系、高度なソフトウェア、最適化されたアライメントおよび露出設定、および改善されたローディングおよびアンロード装置は、業界のコンタクトリソグラフィープロセスに最適です。