中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293795170 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3マスクアライナーは、ウェーハ上のマスクを正確に整列および整列させるために使用されるデバイスです。MICROTEC MJB3は、マスクを水平方向、垂直方向、深さ方向に動かすことができる3軸ステージを採用しています。また、2つの独立して調整可能なステッピングモーター駆動ステージを備えており、ウェーハ上のマスクの正確なフォーカス位置決めが可能です。この顕微鏡は、XY方向に0。1 µm、 Z軸に0。05 µmの分解能を備えています。KARL SUSS MJB 3はフォトリソグラフィ用に特別に設計されており、今日最も包括的なマスクアライナーの1つです。このマスクアリンガーは、優れた粒子レベルの結果を持つさまざまな形状とサイズのマスクを作成するのに適しています。12 mm x 12 mmの視野を持ち、X-Y方向に0。1 µm、 Z軸に0。05 µmの解像度を持つ。視野を簡単に広げることができ、タイトな形状の複雑なパターンを作成するのに適しています。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は、1。0 µm以上の精度と再現性を備えた顕微鏡下でのファインフォーカス調整を特徴としています。このフォーカス調整機能により、小さな幾何学的特徴を持つ高精度マスクの作成や、光に敏感な基板の作成に適しています。また、高精度で最大0。5 µmの線幅を作成するために使用することができます。さらに、ウェーハとマスクMJB-3正確に揃えるための統合ウェーハセンスコントロール、マスク設計時のリファレンスを容易にするためのデータストレージと分析機能、最大126mmの調整可能なマスクフレームサイズなど、さまざまな便利な機能を提供します。また、統合された位置決めシステム、コリメーションキャリア、照明と安全システム、周波数発生器と光学フィルター、さまざまな光源が含まれています。全体として、MICROTEC MJB 3マスクアライナーは、フォトリソグラフィとマスクアライメント用に設計された汎用性の高い高精度デバイスです。MICROTEC MJB 3は、3軸ステージ、ファインフォーカス調整、多彩な機能により、形状やサイズの異なるマスクを作成する際に正確なアライメントと再現可能な結果を保証します。高精度で複雑なパターンを作成するだけでなく、最大0。5 µmの光に敏感な基板や線幅を作成するのに最適です。