中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293777763 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、フォトリソグラフィに使用される高度な自動マスクアライナーです。マスクアライナーは、集積回路（IC）マスクを処理し、基板の最大サイズは8 「x 8」で、一連のアライメントおよび露出操作を行います。装置は、高度な光学アセンブリ、6インチダイオードレーザー、およびデジタルフィードバック制御システムで構成されています。このユニットは、手動または半自動（プログラム可能）モードで動作し、アライメント、露出、搬送パターンのさまざまなパラメーターの組み合わせを設定できます。光源はマスクを整列させ、露出するのに使用されるダイオードレーザーです、レーザー制御システムはフォトレジストとマスクパターンを整列させます。レーザー光は、サブミクロンの精度を達成するために投影光学によってdestigmatizedと焦点を当て、マスクパターンの影（強度）は、± 5 μ mの精度で基板上で解決することができます。光強度は電子的に制御され、単位への物理的な変更なしで5mWから25mWまでの間で調節することができます。マスク自体はステッピングモーターステージに搭載され、強力なステッピングモーターによって駆動されます。マスクアライメントは精度とスピードで実現され、パターンが目的のフォトレジストに正確にオーバーレイされるようにします。このマシンは、ウェーハから集積回路、または複雑なパターンまで、さまざまな動作条件に適応できます。このユニットは、真空システム、自動マスク処理、および内蔵のウェハーマッピングツールを備えた完全自動化されています。これにより、高速で信頼性の高いフォトリソグラフィープロセスが保証されます。基板アライメントアセットには、高精度なマッピングのための高度なビジョンモデルが装備されており、平面と± 0。14mmの高精度を備えています。MICROTEC MJB3は、安全性を確保するために、ユーザーに残留レーザー光が届かないように安全シャッターを装備しています。KARL SUSS MJB 3は、高速アライメントと露出速度、正確なマスクパターン、高い再現性を備えた最先端のフォトリソグラフィ機器に適しています。その結果、あらゆるIC設計および製造ラボにとって不可欠なツールとなります。