中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293766399 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスの製造のためのフォトリソグラフィープロセスで使用される高精度マスクアライナーです。MICROTEC MJB3は、洗練されたフォトマスクを基板にアライメントするための高い精度と再現性を提供します。これにより、完全な精度で基板上にパターン化された層を転送することができます。KARL SUSS MJB 3は、光学モジュール、精密機械アライメントモジュール、ステージコントロールモジュールで構成され、すべてがユニバーサルプラットフォームに組み込まれています。光学モジュールには無限補正型のケーラー型照明器具があり、平行に照らされた光線の円錐形を生成します。光画像システムは、ビーム分割、屈折イメージング、および電動拡大素子で構成されています。ビーム分割要素は、複数のフォトマスクの同時配置を容易にするために、光学モジュールの左右レンズ要素に焦点を当てた4つのサブフィールドに画像フィールドを分離します。精密機械アライメントモジュールには、非常に正確で反復可能なマスクの位置決めを可能にする電動要素が装備されています。このシステムは、線形エンコーダとスキャンヘッドを使用して、X軸とY軸に沿ったマスクフレームの動きをガイドします。また、高精度な位置検出用のクロス偏光ビームスプリッターと、マスクの正しい位置決め用のストローク長センサーを備えています。ステージコントロールモジュールは3つのステージエレメントで構成されています。2つの主なステージはフォトマスクの正確なスキャンを提供し、調整可能なステージはX軸とY軸のマスクの正確な動きを提供します。主なステージには、X軸とY軸の2つの精密位置決めモータと、サンプルの迅速かつ信頼性の高い回転のための回転軸があります。調整可能なステージには、レチクルシフトの測定用のリニアエンコーダがあります。MICROTEC MJB 3には、リアルタイムイメージング、統合ソフトウェア、およびさまざまな互換性のあるアクセサリが含まれています。システムには、すべてのモジュールとコンポーネントの診断チェックを行うセルフテスト機能もあります。これらのすべての機能により、KARL SUSS MJB3は優れた安定性と正確性を備えた高性能で汎用性の高いマスクアライナーです。