中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751566 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、半導体産業でフォトマスクの生成やウェーハ露出プロセスに使用される全自動マスクアライナーです。その主な機能は、露出プロセスで使用するウェーハ表面上のフォトマスク（パターンを含む）を正確に配置して整列させることです。これは、優れた位置決め精度で迅速かつ反復可能なマスクアライメント操作を提供するように設計されています。MICROTEC MJB3は、2つの独立した線形ステージを備えています。これらのXステージとYステージは両方ともダイレクトドライブモータで駆動され、非常に正確で高解像度（最大1ミクロンの精度）と再現可能なアライメント機能を提供します。また、ウェーハへのマスクのアライメントをサブミクロン精度に測定するために使用されるレーザーもあります。マスクとウェーハは、XおよびY線形ステージ上で独立して正確に移動できます。また、カールサスMJB 3は、ウェハハンドラとマスクハンドラコントロールを採用し、光学系の取り扱いを容易にします。どちらもユニークなアライメントシステムを備えており、マスクハンドラーにはマスクパターンのアライメント精度を保証するレンズがあり、ウェハハンドラーには独自の独立したセンタリングシステムがあります。また、ウェーハやマスクの位置決めや操作に役立つビジョンシステムも装備されています。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3マスクアライナーには、露光プログラムの自動化と処理を容易にするプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が含まれています。また、露出パラメータやデータに簡単にアクセスできるプロセスモニタも備えています。また、複数のマスクとウェーハの位置、露出パラメータの保存も可能です。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は信頼性が高く使いやすく、再現性の高いマスクアライメントと精度により、フォトマスクの生成やウェーハ露出プロセスに最適なツールです。様々な種類のフォトマスクを取り扱うことができ、そのコンポーネントはさまざまなウェーハ露出アプリケーションに合わせてカスタマイズすることができます。その堅牢な設計により、最高品質の基準を満たしているため、フォトマスクの生成やウェーハ露出プロセスに理想的なマスクアライナーとなります。