中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293751564 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
ID: 293751564
ウェーハサイズ: 3"
Mask aligner, 3" 350 W Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、幅広い機能を備えた最先端のマスクアライナーです。このユニットは完全に自動化されたマスクアライナーで、他のマスクアライナーよりも多くの利点があります。MICROTEC MJB3は、マスクパターンを正確にアライメントするための電子マクロフォーカス装置と、サブミクロン分解能のためのレーザー光学システムを備えています。また、マイクロフォーカスアダプタを内蔵しており、マイクロレベルでの正確なアライメントが可能です。さらに、カールサスMJB 3にはウェーハアライメントユニットが完全に自動化されており、多層パターン用の複数のマスクを正確に登録し、ウェーハ上のパターンを高精度にアライメントすることができます。この自動化された機械に大きいスキャン区域があり、ウェーハのオペレータのオーバーレイなしで精密な直線のための高精度の、電動化された段階が組み込まれています。さらに、KARL SUSS MJB-3には、複数の機能オプションを備えたデジタルインターフェイスが装備されており、ユニークでユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスがあります。露出、露出後ベーク、溶媒乾燥など、さまざまなリソグラフィ処理が可能です。さらに、MJB 3は、スピンコーティングアタッチメント、高解像度イメージングソース、多層アライメントツールなど、さまざまなオプション機能でカスタマイズできます。その結果、MJB-3は多くの用途に理想的なマスクアライナーであり、特に微細なアライメントで複数のマイクロエレクトロニクス部品を小規模に処理します。
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