中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293743798 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3マスクアライナーは、フォトリソグラフィ加工用に設計された精密オプトメカニカルマシンです。主にマイクロエレクトロニクスや半導体産業でサブミクロン分解能デバイスや回路の製造に使用されています。MICROTEC MJB3は、連続波形レーザー源と投影・イメージング装置を使用して、ハードフォトマスクからウェハ表面基板にパターンを転送します。このシステムには、マスクと基板を慎重に配置するための安定したレベルの位置決めユニットを提供する2つの犠牲段階が装備されています。このアライメントは、高精度で自動化されたX-Yラスタースキャン機と、リアルタイムフィードバックと1。3ナノメートルの解像度を備えたZ軸深度制御によって支援されます。KARL SUSS MJB 3は、構成に応じて2"または4"または6"または8"または10"マスクを照らすことができる0。55の数値開口度（NA）の照明レンズを備えています。さらに、MICROTEC MJB-3は、信頼性の高い動作と高解像度の再現性を提供するために設計および設計されており、セットアップに必要な時間を最小限に抑えます。ウェーハに調整可能な真空クランプを装備しています。MJB-3はまた、エッジ・プロファイルの正確なアライメントのためにラインとエッジ補正器を使用します。この補償器は、距離要素と駆動ユニットのセットで構成されており、細かい海岸制御を可能にします。カールSUSS MJB 3には2つの自己インターロック機構が装備されています。1つ目は、チャンバーとオートフォーカス板を開けたときに工具が作動するのを防ぐ電磁インターロックです。2つ目は、不正な人員が資産を操作するのを防ぐキー操作のインターロックです。MJB 3は、フォトリソグラフィック処理のための強力で正確なツールです。モジュラー設計と精密な制御モデルにより、マスクや基板が困難な場合でも、迅速かつ正確な結果を得るための効率的で信頼性の高いデバイスとなります。さらに、自己インターロック機構により、安全で安全な動作と、精密フォトリソグラフィの信頼できるプラットフォームが保証されています。