中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293713185 を販売中

ID: 293713185
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Alignerは、マイクロエレクトロニクス回路や薄膜成膜などの直接フォトリソ加工に使用される精密で信頼性の高いリソグラフィ装置です。MICROTEC MJB3システムは、プログラム可能な座標、カメラのフィードバック、オープンアーキテクチャのアクセシビリティを備えた簡単なアライメントと操作を提供します。5軸ポジショニングユニットは、0。5 µmの絶対精度に設定できる優れたアライメント安定性と精度を保証します。アライナーには、715 x 715 mmの大きな露出ステージと、翻訳と高精度のレチクランプを支援する5メートルの長いトラックが装備されています。また、KARL SUSS MJB 3は、操作が簡単で快適な人間工学に基づいたデザインを採用しています。マシンにはRoboticVisionソフトウェアが搭載されており、重要なアライメントやオーバーレイタスクに使用すると、一貫したパフォーマンスと精度が保証されます。MJB-3は、ウェハレベルのパッケージング、ダイアタッチ、薄膜加工、MEMS製造プロセスなど、多くのアプリケーションに最適です。ウエハーからフレキシブル基板まで、幅広い基板に対応でき、正・負のレジスト製剤を含むすべてのレジストに使用できます。この汎用性により、マルチステップシステムへの統合に非常に魅力的です。マイクロテックMJB 3は、エキシマーや遠紫外線露光源など、さまざまな光源と組み合わせて使用することができます。インストゥルメントの前面にある露出ブロックは、スライディング露出アームを備えた高度にカスタマイズ可能で、手動アライメントと短時間および長時間の露出時間を制御できます。ユーザーの利便性のために、オペレーティングソフトウェアには、オートアライメントキャリブレーションや自動露出モード選択などの高度な分析ツールが含まれています。さらに、オペレータは堅牢なユーザーインターフェイスまたはイントラネットネットワークを介してツールを監視および制御できます。この資産は、マイクロエレクトロニクスデバイスを確実かつ正確に製造するために探している人に最適です。その大きなステージ、高精度とプログラマブルな制御は、現代のマスクアライナーアプリケーションのための最先端のオプションになります。
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