中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293705835 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3マスクアライナーは、半導体生産ライン向けの信頼性と精密なリソグラフィーツールです。高い光学的および機械的精度でマスクを整列し、露出することができ、ゼロ整列の再現性で一貫した反復可能な結果を保証します。MICROTEC MJB3は、複数のユーザーインターフェイスを含む半自律的な機器であり、ライブコントロールと操作を容易にします。直径150mmまでのウェーハ（または6インチウェーハ）をサポートし、スタッカー内蔵のレチクルホルダーを含むマスクフレームや複数のレチクルサイズに対応しています。KARL SUSS MJB 3には、イルミネーション、光学システム、基板処理ユニットという3つの主要コンポーネントがあります。照明装置は、マスクの均一で高効率な照明を実現し、露出ノイズや不整合を低減し、ウェーハ上のマスクの迅速かつ簡単なアライメントを可能にします。それは露出の分解能そして正確さを高める多分野の投射用具を使用します。照明光学系を光源とマスクフレームから基板ステージに移し、マスクを通して放射線を基板に投影します。MJB3の光学システムは、高精度と信頼性を提供します。モーター制御ズーム、アライニング、およびレチクルホルダー光学アセットを搭載しており、一貫した再現性のある結果を得るために、位置決め、アライメント、およびマスク間ウェハ登録を容易にします。その高度な分光機能は、その強度やスペクトル組成などの光束の特性を正確に決定することも可能です。KARL SUSS MJB-3の基板取扱モデルは、ウェーハサイズとタイプを幅広く可能にする回転と変位が可能なフラット基板テーブルを備えています。それは長方形および円形の基質を受け入れることができ、工程の必要性に合わせることを可能にします。平らなテーブルはまたコーティングの性能および容易な基質のローディングに一貫した保障します。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3には5つの真空ヘッドがあり、マスクアライメント装置の正確な制御と操作、および自動ウェーハのローディングとアンロードが可能です。MJB 3 Mask Alignerは、高度な光学設計と機械設計のおかげで、半導体の効率的で信頼性の高い生産に最適なシステムの1つです。その高解像度と精度により、リソグラフィ用途向けの信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。