中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293685973 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、薄膜マイクロエレクトロニクス回路の製造用の高精度マスクアライナーです。コンタクトマスクから基板上の薄膜の高解像度パターニングまでの用途に適しています。MICROTEC MJB3精密アライナーは、MIL-STD-882、 Automated Pattern Transfer Systemsなどの高周波電磁界の存在下でマスクを整列させるように設計されています。KARL SUSS MJB 3には、電磁放射シールド&チャンバー、電磁アライメント機器、洗練されたモーションコントロールシステム、X-Y-Zモーションステージ、真空内光アライメントユニットが装備されています。電磁放射シールド&チャンバーは、高度な材料技術を使用して実装されており、その構成は、強烈な放射フィールドのシールドを可能にします。電磁アライメントマシンは、マスクを基板に合わせて電磁界を使用します。このツールには、マスクフィルムを高精度に基板上に正確に配置するための自動調整機構も含まれています。洗練されたモーションコントロールアセットは、マスクと基板の正確な登録を保証します。そのコンポーネントには、比例集積派生（PID）サーボループ、洗練されたプログラマブルなデジタル信号処理プロセッサ、高速状態マシンコントローラが含まれます。X、 Y、 Zモーションステージは、マスク、基板、および光学系を細かく制御して移動させるために使用され、マスクと基板のマッチした登録を確実に行い、正確なアライメントを実現します。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3の真空内光アライメントモデルは、レーザー回折分光法（LDS）と反射照明を使用して、基板とマスク登録ポイント間のほぼ微小な位置関係を検出します。LDS装置は光学測定に基づいており、高い精度と高速性を備えています。反射照明は、標準カメラとLDSシステムの間のギャップを埋め、高解像度のイメージングとサブピクセルレベルの機能の検出の両方を提供します。MICROTEC MJB 3精密アライナーは、クリーンルーム環境内での使用を想定して設計されており、予防措置を講じた際に最大限の安全性で動作し、指示に従ってユニットを使用することができます。KARL SUSS MJB3マスクアライナーは、薄膜マイクロエレクトロニクス回路を製造するための信頼性と高精度の機械です。