中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293668771 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、マイクロエレクトロニクスの多くの分野でフォトリソグラフィに使用される精密マスクアライナーです。レチクルやフォトマスクを通して光を投影し、フォトレジストに顕微鏡パターンを生成します。MICROTEC MJB3は、幅広い温度範囲で調整可能なアライメント精度と最低振動レベルを提供する、超高精度のデジタルマスクアライナーです。その特長は、安定した構造設計と革新的に設計され、統合されたモーションコントロールおよびアライメントシステムにより、最大0。5ミクロンのアライメント精度を生成することができます。KARL SUSS MJB 3は、最高の再現性で0。005mmまたは0。0001"の範囲で横方向の動きを達成することもできます。フレキシブルコリメーションシステムは、光学的に配置された干渉フィルターを電子制御フィルターで光学的に置き換え、代替コリメーションを利用するために、コリメーションを簡単に操作できるもう1つの機能です。分析制御技術は、露光プロセス中に2〜4つの異なる波長スペクトルを分析、可視化、制御する効率的な方法を提供します。KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、顔検出とウェーハ回転の自動化を実現し、x-y-z平面のアライメント精度を実現しています。さらに、MJB 3は、より小型で高密度なマイクロストラクチャーを低コストで製造するために、ガスシールドの削減システムを利用しています。最後に、レチクルマスクの効率的なセットアップとジョグに使用されるユーザーフレンドリーなCIM-Softwareインターフェイスを提供します。MJB-3は、フォトレジストに高精度のパターンを生成するために必要なすべての機能を提供する高度なマスクアライナーです。