中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293651903 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Alignerは、研究と生産の両方で使用される精密アライナーであり、マイクロエレクトロニクス業界で非常に貴重です。この装置はサブミクロンのアライメント精度が可能で、最新のリソグラフィ技術を誇り、より細かく、より複雑なデバイスや集積回路の製造に最適です。そのユニークなデュアル光学パス設計、単一の光源と取り外し可能なマスクホルダーは、完璧な光の均質性で最適なイメージング環境を作成します。4インチウエハから8インチウエハまで、さまざまな基板に対応できるほか、厚みも異なるため、最大限の柔軟性が得られます。マスクアライナーは、特許取得済みの低コストのレーザーユニットを使用して、リソグラフィで使用される光源の通常の範囲よりも小さいレーザースポットサイズを生成します。この小さなスポットサイズにより、微細な特徴の精度アライメントが可能です。デュアルオプティカルパス設計により、高いスループットを維持しながら正確なアライメントが保証され、取り外し可能なマスクホルダーにより、基板とマスクを迅速に変更でき、生産性が大幅に向上します。MICROTEC MJB3では、オーバーレイ、プリアライン、センターアライメント、ウェッジアラインターゲットなど、幅広いアラインメントを可能にします。さらに、ウェーハ上のアライメントマークを自動的に検出し、最適なアライメント精度を確保するために光学系を調整する統合ステージスキャナを内蔵しています。カールサスMJB 3には、緊急停止ボタン、アイウォッシュステーション、レーザー放射線への暴露を防止するための調整可能な作業室など、いくつかの安全機能もあります。さらに便利なことに、このツールにはPCベースのコントローラーインターフェイスが含まれており、リモート操作、データストレージ、およびアライメント結果の後処理を可能にします。MICROTEC MJB 3マスクアライナーは、正確で費用対効果の高いアライメントソリューションが必要な場合に理想的な選択肢です。この機械は、その印象的な性能と柔軟性のために半導体メーカーや研究所の間で人気のある選択肢です。
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