中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293649571 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、ドイツのMICROTEC社が製造したフォトリソグラフィーマスクアライナーです。それは複雑な部品のフォトリソグラフィのような速い微細加工のための半導体そしてマイクロエレクトロニクスの企業によって、使用されます。MICROTEC は、1 mの解像度で、ナノメートルレンジまで正確にパターンダウン ことができます。4軸ジンバル装着ステージを使用することで、他のマスクアライナー方式よりも高速で効率的です。このジンバルマウントステージは、X軸、 Y軸、 Z軸の動きの優れた安定性と精度を可能にします。KARL SUSS MJB 3はまた、デュアルアライメント技術を使用しており、高いスループットと優れた精度を提供します。マスクを配置するために、MICROTEC MJB-3は4つの状態の自動焦点装置を使用しています。このシステムは、1 μ mの解像度で、すべての3つの軸でマスクを見つけて正確に見つけることができます。また、マスク上のアライメントマークの位置を検出することができ、正確で整列したマスクを可能にします。マスクの位置合わせマークは、モニターに取り付けられたCCDカメラによって検出され、オペレータは位置合わせプロセスをガイドして監視することができます。KARL SUSS/MICROTEC MJB3は、UV、 i-line、 deep-UV光源を選択できます。これにより、地形のオーバーレイ、バックライター、コンタクト、その他のプロセスなど、さまざまなリソグラフィックプロセスが可能になります。さまざまな光源とアライメント技術の組み合わせにより、KARL SUSS/MICROTEC MJB 3は柔軟で効率的なフォトリソグラフィーソリューションを提供できます。ユーザーを放射線から守るために、MJB 3には複数の安全システムが含まれています。これらには、オペレータの位置を監視するカスタマイズ可能なインターロックユニットが含まれます。紫外線波長をフィルタリングするフォトスタビライジングシールド。そして供給される紫外線のレベルを監視する安全機械。結論として、MJB-3は、フォトリソグラフィーの高いスループットと正確な方法を業界に提供する自動フォトリソグラフィーマスクアライナーです。光源の選択と4軸ジンバルステージの組み合わせにより、カールサス/マイクロテックMJB 3はナノメーター範囲までパターン化され、精度は1 μ mに達します。さらに、放射線への暴露からユーザーを保護する優れた安全システムを提供することもできます。