中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293618665 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、半導体・ディスプレイ機器の製造に使用される高精度マスクアライナーです。このマシンは、高精度で再現性のある基板の正確な座標に正確なマスクを揃えるように設計されています。この機械は、直径13インチまでのサイズの結晶シリコン、ガラス、プラスチック、または金属など、さまざまな基板やウエハーを取り扱うことができます。MICROTEC MJB3マスクアライナーは、メインコントロールユニット、2つのマスクステージ、2つの基板ステージ、2つのX線フラックス強度測定システム、およびイメージャヘッドで構成されています。メインコントロールユニットには、機械のさまざまな機能を制御および監視するためのすべての電子機器が含まれています。2つのマスクステージは、フォトマスクを基板に正確にアライメントするために使用されます。2つの基板ステージは、基板を確実に固定し、正確なアライメントを容易にするために使用されます。2つのX線フラックス強度測定システムは、正確なアライメントを確保するために、ユニット内のX線の強度を測定します。最後に、イメージャの頭部は紫外線照明の下で基質およびフォトマスクを見るのに使用されています。KARL SUSS MJB 3は、信じられないほどの20ナノメートルまでのアライメント精度のための高い再現性を提供します。これは、2つの精密レーザー干渉計と高解像度ステッピングモータを使用することによって達成されます。レーザー干渉計はフォトマスクと基板の間の距離を測定し、高解像度のステッピングモータは各アライメントポイントが正確に達成されることを保証します。MICROTEC MJB 3マシンには、自動ウェハマッピングおよびウェハアライメントスキャン、オートフォーカス機能、フルX線検査機能、最適化および特性評価ツールなど、いくつかの高度な機能があります。X線検査機能は、マスクが基板に転送および取り付けられる前に正確に整列されるようにするのに特に役立ちます。最適化および特性評価ツールは、基板上の各フォトマスクの正確なアライメントを決定するための幅広いオプションを提供します。全体的MJB3、マスクアライナーは、フォトマスクを基板に正確にアライメントするための非常に洗練された精密な機械です。カールサスMJB 3は、高い再現性と高度な機能を提供することにより、信頼性と正確なマスクアライメントを必要とする半導体およびディスプレイデバイス業界の人々に最適です。