中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293590392 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、生産レベルのフォトリソグラフィ用に特別に設計された専用のマスクアライナーです。フォトリソグラフィーでは、ファインパターンをフォトマスクからシリコンウェーハに移し、紫外線にさらすことで、ウェーハ上にデバイスを配置する際の精度を極めます。MICROTEC MJB3マスクアライナーは、± 0。3 μ mの位置決め精度と0。2 ± mの再現性を備えた非常に高精度なアライメントμ提供します。KARL SUSS MJB 3アライナーは、2つの独立したアライメントシステムを提供します。1つ目は、高解像度のデジタルCCDカメラ（1280 x 1024、5。5 μ mピッチ）で、4倍から64倍の倍率と1ピクセルあたりの0.06µmのアライメント精度で構成された顕微鏡アライメント装置です。2つ目のアラインメントシステムは、高解像度ステージ（1,800×1,800ピッチ）で構成される粗いアライメント用のステッピングユニットで、粗いアライメントの0.4µmの位置決め精度を備えています。KARL SUSS MJB-3アライナーには、非常に革新的なイメージングマシンが装備されており、比類のない視野を提供します。1ピクセルの解像度で最大200mmの視野を持つ大面積の露出を可能に26.6µmます。これは、50mm 2.5Xズーム対物レンズと2つのデジタルシフトレンズを組み合わせて使用することによって実現されます。このイメージングツールには、ダイナミックな作業範囲と感度を拡張できる明るいフィールドイメージングアセットも装備されています。MJB3アライナーは、最大露出フィールドサイズ8 「x 8」、露出線量範囲0。1〜250 mJ/cm2、露出精度± 2％など、幅広い高度な露出パラメータを提供します。また、シングルビーム、マルチビーム、プログラム可能なビーム露光など、さまざまな露出タイプを提供し、最大限の柔軟性を提供します。最後に、MICROTEC MJB 3マスクアライナーは、最高のパフォーマンス、制御可能なスループット、卓越した精度を提供するために高度に統合されています。パフォーマンスに優れた真空チャックを提供し、最大5つのウェーハを1回の実行で処理できるため、高スループットの生産環境を確保できます。さらに、KARL SUSS MJB3は多くのソフトウェアパッケージと互換性があり、スタンドアロンモデルまたは完全自動生産ラインの一部として使用できます。