中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #114445 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3は、半導体製造プロセス向けに開発されたマスクアライナーです。独自の高解像度光学イメージング技術を使用し、精度と再現性を確保した高精度アライメント装置です。このシステムは、高度な半導体の製造のためのウェーハ上の定義済みパターンに2つまたは3つの個々のフォトマスクをイメージして整列させるように設計されています。MICROTEC MJB3は、ロボット、光学、ソフトウェアのユニークな組み合わせを利用して、定義済みのフォトマスクをウェーハに正確に配置します。独自のグラフィックスユーザーインターフェイス（GUI）と制御プログラムを備えた統合されたスタンドアロンのパーソナルコンピュータを備えているため、ユーザーはアラインメントを簡単に設定、整列、監視できます。また、ターゲット位置、画質、アライメント速度の選択など、いくつかの標準的なユーザー定義のアライメントパラメータも装備されています。KARL SUSS MJB 3は、最大3つのマスクを一度に簡単に設定および処理できるように設計されています。これは、優れた熱性能、基本的なイメージング収差、およびアライメントの高精度を特徴とするフルフィールドプロジェクションユニットにチャックされたマスクあたり1つのビームを使用します。さらに、顕微鏡は、正確に配置されたサブピクセル位置のウェーハのスキャンを可能にします。高解像度は、視野内のマスクの整列に有益であると考えられて5µm。KARL SUSS MJB 3は、高速ロボットアーム、密閉チャンバー、デジタルエンコーダとベアリングスライド、洗練されたソフトウェア、および迅速かつ正確にアライメントを実行するための印象的なデジタル検出器の配列を備えた自動マシンです。また、高い反復性と正確なアライメント性能を提供します。アライナーはまた、薄膜フォトマスクから大きなステップアンドリピートパターンまで、さまざまなフォトマスクをサポートしています。要約すると、KARL SUSS MJB-3は、高度な半導体デバイスの製造に適した強力でユーザーフレンドリーなマスクアライナーです。フォトマスクを小さな視野内のウェーハに配置するための高精度、高精度、再現性を提供します。半導体ウェーハの大量製造に最適な自動化ツールで、さまざまな生産現場に設置されています。